Filtración de alta pureza para a fabricación ultralimpa de semicondutores
Descrición
Filtro de gas de alto fluxo: deseñado especificamente para a filtración de gases de proceso de pureza ultra alta na fabricación de semicondutores. Fabricado con precisión en aceiro inoxidable 316L, presenta un deseño de medio de disco apilado ou multicolumna para garantir unha baixa resistencia a caudais elevados, cunha precisión de filtración que alcanza os 0,003 μm para cumprir cos requisitos de pureza ultra alta. A súa construción totalmente metálica convérteo nunha solución de filtración ideal para ambientes dinámicos de alta temperatura.
Característica do produto
▶Estrutura de aceiro inoxidable 316L— Garante a durabilidade e a resistencia á corrosión.
▶Alto caudal, baixa resistencia— Optimizado para un caudal elevado con perda de presión mínima.
▶Eficiencia de retención de partículas ultraalta— Excelente para manter condicións ultrapuras.
▶Resistente a altas temperaturas, presión e corrosión— Apto para ambientes hostiles.
▶Compatible con varios gases de proceso— Versátil para múltiples aplicacións industriais.
▶Ideal para a fabricación, as probas e o envasado en salas limpas— Perfecto para o seu uso en contornas controladas.
▶Probas de integridade do 100 %— Cada filtro sométese a probas de integridade exhaustivas para garantir a calidade.
▶Proba de fugas de helio ao 100 %— Verificado mediante probas de fugas de helio para garantir a fiabilidade en aplicacións críticas.
Folla de datos
Parámetros técnicos
| Parámetro | Especificación |
|---|---|
| Material do elemento filtrante | Aceiro inoxidable 316L sinterizado en po |
| Material da carcasa | Aceiro inoxidable 316L |
| Presión máxima de entrada | 207 bares |
| Presión diferencial máxima de funcionamento | 5,2 bares |
| Taxa de fuga de validación de helio | 2 x 10⁻¹⁰ cc/min |
| Taxa de fugas das probas de helio | 1 x 10⁻¹⁰ cc/min |
| Tratamento de superficies | |
| Superficie externa | Ra < 1,6 μm |
| Superficie interna | Ra < 0,2 μm |
| Temperatura máxima de funcionamento | |
| Gas inerte | 400-500 ℃ |
| Gas corrosivo e reactivo | 50 ℃ |
| Eficiencia de retención de partículas | ≥99,9999999 % (9LRV) @ 30 slpm |
| Limpeza augas abaixo | ≤0,03 partículas/litro a > 0,01 μm, 30 slpm |
| Tamaño de retención de partículas | ≥0,003 μm |
Tamaño
Aquí tes o número de peza que podes pedir e os detalles do tamaño:
| Modelo de produto | Material do elemento filtrante | Precisión da filtración (μm) | Tipo de conexión |
|---|---|---|---|
| Z01B-00647 | Aceiro inoxidable 316L | 10~0,003 | 1/4” |
| Z01B-00648 | Aceiro inoxidable 316L | 10~0,003 | 1/2” |
| Z01B-00649 | Aceiro inoxidable 316L | 10~0,003 | 1/8” |
| Z01B-00650 | Aceiro inoxidable 316L | 10~0,003 | 1” |
| Personalizable | Aceiro inoxidable 316L | 10~0,003 | Segundo as necesidades |
Aplicacións típicas
algunhas aplicacións típicas deFiltros a granel e utilitarios de alta purezaeFiltros de fluxo de gas na plataforma de gas:
1. Fabricación de semicondutores
*Garante o subministro de gas ultrapuro para a fabricación de obleas, gravado e procesos de deposición química de vapor (CVD).
*Mantén unha alta pureza en sistemas de distribución de gas a granel para nitróxeno, argon e outros gases portadores.
2. Produción farmacéutica
*Proporciona gas estéril e libre de partículas para entornos de fabricación críticos.
*Admite filtración de alta pureza para salas limpas e ambientes controlados para manter a integridade do produto.
3. Sistemas de gas de laboratorio
*Úsase en laboratorios para purificar correntes de gas en equipos analíticos como cromatografía de gases e espectrometría de masas.
*Garante gases de alta pureza para aplicacións de investigación e probas, protexendo instrumentos sensibles.
4. Procesamento de alimentos e bebidas
*Filtra o CO₂ e outros gases empregados na carbonatación, no envasado e no almacenamento, mantendo a seguridade e a calidade dos alimentos.
*Garante o subministro de gas libre de contaminación nas plantas de procesamento, especialmente para as empresas de subministración de gas a granel.
5. Industria do petróleo e o gas
*Purifica as correntes de gas natural na filtración por almofada de gas, eliminando contaminantes antes do almacenamento ou transporte.
*Protexe os equipos augas abaixo eliminando partículas, humidade e impurezas nos sistemas de fluxo de gas a alta presión.
6. Fabricación de produtos químicos
*Filtra gases de utilidade como nitróxeno e argon empregados na síntese e reaccións químicas.
*Mantén a pureza do gas para evitar a contaminación e as inconsistencias na reacción.
7. Aeroespacial e Defensa
*Subministra gases de alta pureza en contornas de fabricación e probas de materiais e compoñentes aeroespaciais.
*Garante unha pureza constante do gas en contornas controladas para a montaxe de aeronaves e equipos de defensa.
8. Produción de enerxía (centrais eléctricas)
*Filtra gases a alta presión para aplicacións de refrixeración e procesos, especialmente en ambientes de alta temperatura.
*Mellora a eficiencia e reduce o desgaste dos equipos ao evitar a contaminación nos sistemas de refrixeración e fluxo de gas.
Estes fOs filtros son esenciais en calquera aplicación que requira un fluxo de gas limpo e constante, mellorando a protección do equipo,
eficiencia dos procesos e calidade do produto final en todas as industrias.
Envíanos a túa mensaxe:
