Filtros avanzados de selado en C de montaxe superficial IGS para sistemas de gas semicondutor ultrapuro
Descrición
Os filtros de montaxe superficial HENGKO están deseñados para cumprir os esixentes requisitos dos sistemas de gas integrados empregados en ferramentas OEM de semicondutores. Ofrecendo unha filtración líder na industria a 0,003 µm, estes filtros garanten un rendemento e unha fiabilidade excepcionais cunha eficiencia de intercepción de partículas de ≥99,9999999 % (9-LRV) a 120 slpm.
Construídos con robusto aceiro inoxidable 316L sinterizado en po para o elemento filtrante e a carcasa, estes filtros cumpren coas especificacións SEMI F86-0304, con compoñentes de dous portos adaptados para sistemas de distribución de gas de 1,125 polgadas cunha configuración de selo en C. Admiten unha presión de entrada máxima de 3,4 MPa a 100 °C e un diferencial de presión de funcionamento máximo de 0,69 MPa a 100 °C.
Estes filtros especializados, compatibles coas especificacións de selos de tipo C e W, conseguen unha limpeza posterior coa liberación de partículas de
Cun acabado superficial de Ra< 1,6 µm no exterior e RaCon < 0,13 µm no interior, están deseñados para soportar altas temperaturas de ata 460 °C. Deseñados para unha fácil integración e actualizacións de deseño modular, estes filtros simplifican a instalación e o mantemento, axudando a optimizar o rendemento do sistema en aplicacións de control e subministración de gases semicondutores.
Característica do produto
▶ Construción xeral de aceiro inoxidable 316L
▶ Deseño miniaturizado, estrutura compacta, aforro de espazo
▶ Excelentes características de substitución e desorción de gases
▶ Resistente a altas temperaturas, altas presións e á corrosión
▶ Carcasa de aceiro inoxidable 316L electropulido
▶ Instalación e mantemento sinxelos e eficientes
▶ Sellado mecánico, estruturalmente sen soldar ao medio
Folla de datos
| Parámetros técnicos | Valores |
|---|---|
| Material do elemento filtrante | Po sinterizado de aceiro inoxidable 316L |
| Material da carcasa | Aceiro inoxidable 316L |
| Presión máxima de entrada | 3,4 MPa a 100 °C |
| Diferencial máximo de funcionamento | 0,69 MPa a 100 °C |
| Taxa de fuga de verificación de helio | 1x10⁻¹¹ cc/min |
| Taxa de fuga da proba de helio | 1x10⁻⁹ cc/min |
| Tratamento de superficies | Superficie exterior Ra< 1,6 μm |
| Superficie interior Ra< 0,13 μm | |
| Temperatura máxima de funcionamento | 460 °C |
| Eficiencia de intercepción de partículas | ≥99,9999999 % (9-LRV) a 120 slpm (MPPS de referencia, todas as partículas) |
| Limpeza augas abaixo | Liberación de partículas:< 0,03 partículas/litro (< 1 partícula/pé³) |
| Volátiles:< 10 ppb de humidade | |
| Tamaño de intercepción de partículas | ≥0,003 μm |
| Rango de fluxo | 0 ~ 120 l/min |
Tamaño
Aquí tes o número de peza que podes pedir e os detalles do tamaño:
| Modelo de produto | Caudal | Altura (mm) | Precisión de filtración | Nivel de limpeza |
|---|---|---|---|---|
| Z01B-00637 | 10 slpm | 51,6 | 0,003 μm | C |
| Z01B-00638 | 40 l/min | 82,9 | 0,003 μm | C |
| Z01B-00687 | 80 l/min | 126.2 | 0,003 μm | C |
| Z01B-00688 | 120 l/min | 167,9 | 0,003 μm | C |
Aplicacións típicas
Para usar con sistemas modulares de subministración de gas de montaxe superficial W-seal e C-seal de 1,125” e 1,5”.
Envíanos a túa mensaxe:
