Sensor de temperatura e humidade para o esquema de control de humidade da temperatura da sala limpa de semicondutores

Mostra de produtos

A temperaturaeA humidade do espazo limpo determínase principalmente segundo os requisitos do proceso, pero a condición de cumprir os requisitos do proceso, debe terse en conta a sensación de confort.Coa mellora dos requisitos de limpeza do aire, houbo unha tendencia de requisitos cada vez máis estritos de temperatura e humidade.
A medida que a precisión do procesamento é cada vez máis fina, o intervalo de fluctuación da temperatura é cada vez menor.Por exemplo, no proceso de exposición litográfica da produción de circuítos integrados a gran escala, a diferenza do coeficiente de expansión térmica entre o vidro e a oblea de silicio como material de máscara é cada vez máis pequena.Oblea de silicio de 100 um de diámetro, aumento da temperatura 1 grao, provocará unha expansión lineal de 0,24 um, polo que debe haber unha temperatura de ± 0,1 graos, ao mesmo tempo, o valor de humidade é xeralmente baixo, porque a xente sua, o produto terá contaminación, Especialmente con medo ao taller de semicondutores de sodio, este taller non debe exceder os 25 graos.
A alta humidade causa máis problemas.Cando a humidade relativa supera o 55%, formarase orballo na parede da tubaxe de auga de refrixeración, o que provocará varios accidentes se ocorre en dispositivos ou circuítos de precisión.Cando a humidade relativa é do 50%, é fácil de oxidar.Ademais, cando a humidade é demasiado alta, o po pegado á superficie do chip de silicio será adsorbido quimicamente na superficie para resistir a eliminación.Canto maior sexa a humidade relativa, a adhesión é difícil de eliminar, pero cando a humidade relativa é inferior ao 30%, as partículas son fáciles de absorber na superficie debido á acción da forza electrostática e un gran número de dispositivos semicondutores son propenso á avaría.O rango de temperatura óptimo para a produción de obleas é do 35-45%.

Polo tanto, o control da temperatura e da humidade é particularmente importante, HENGKO pode proporcionarlle unha serie desolucións de procesamento personalizadas con transmisor de temperatura e humidade!

Sensor de temperatura e humidade para o esquema de control de humidade da temperatura da sala limpa de semicondutores

Non atopas un produto que satisfaga as túas necesidades?Póñase en contacto co noso persoal de vendas paraServizos de personalización OEM/ODM!